将工件(铝、镁、钛、锆及其合金)和不锈钢(或石墨)板置于电解质水溶液中,工件接电源正极,不锈钢(或石墨)板接电源负极,电源接通后工件表面发生阳极钝化生成高阻抗氧化膜,随着氧化膜增厚以及外加电压的不断增高,高电场强度使得氧化膜内部及表面电荷积累变得严重。固体绝缘材料中空间电荷的存在使得原来的电场发生畸变,使局部电场加强,导致氧化膜击穿,产生火花放电。当氧化膜被击穿后,就会形成基体金属离子和溶液中活性氧离子等物质扩散转移的通道,基体金属离子和氧离子,在电化学、热化学和等离子体化学的共同作用下,生成氧化物陶瓷。
微弧氧化工艺将工作区域由普通阳极氧化的法拉第区域引入到高压放电区域,克服了硬质阳极氧化的缺陷,极大地提高了膜层的综合性能。微弧氧化膜层与基体结合牢固,结构致密,韧性高,具有良好的耐磨、耐腐蚀、耐高温冲击和电绝缘等特性。该技术具有操作简单和膜层功能可控的特点,而且工艺简便,环境污染小,是一项全新的绿色环保型材料表面处理技术,在航空航天、机械、电子、装饰等领域具有广阔的应用前景。